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2026-05-12
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YS/T 1195-2017
多晶硅副产品 四氯化硅
检测项目：二氯二氢硅、四氯化硅、高沸物、硼、磷、铁、铝、钛
检测对象：四氯化硅
GB/T35306-2023
硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法
检测项目：间隙氧、代位碳
检测对象：硅晶体
GB/T24582-2023
多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法
检测项目：表面金属杂质铁、铬、镍、铜、锌、铝、钠、钾
检测对象：硅晶体
GB/T 4059-2018
硅多晶气氛区熔基磷检验方法
检测项目：硅多晶转化为硅单晶
检测对象：硅晶体
GB/T31854-2015
光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
检测项目：基体金属杂质铬、铁、镍、铜、锌、钠
检测对象：硅晶体
GB/T37049-2018
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
检测项目：基体金属杂质铬、铁、镍、铜、锌、钠
检测对象：硅晶体
GB/T14849.4-2014
工业硅化学分析方法 第4部分：杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
检测项目：铁、铝、钙、钛、锰、镍
检测对象：工业硅
GB/T2881-2014 4.2
工业硅
检测项目：粒度
检测对象：工业硅
GB/T28654-2018 6.2
工业三氯氢硅
检测项目：二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷聚合物
检测对象：三氯氢硅
GB/T 29056-2012
硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
检测项目：硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑
检测对象：三氯氢硅
YS/T 1300-2019
氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法
检测项目：甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷
检测对象：三氯氢硅
检测对象：四氯化硅
GB/T1551-2021
硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法
检测项目：电阻率
检测对象：硅晶体
GB/T38866-2020
电子工业用二氯硅烷
检测项目：硼、铝、磷、砷、镓、锑、钙、铬、铁、钾、钠、镍、钼、锰、铜、镉、钴、锌
检测对象：二氯硅烷
YS/T 1601-2023
六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
检测项目：钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼
检测对象：六氯乙硅烷
YS/T 1434-2021
六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法
检测项目：三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分
检测对象：六氯乙硅烷
GB/T1550-2018
非本征半导体材料导电类型测试方法
检测项目：导电类型
检测对象：硅晶体
GB/T1557-2018
硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
检测项目：间隙氧
检测对象：硅晶体
GB/T1558-2023
硅中代位碳含量的红外吸收测试方法
检测项目：代位碳
检测对象：硅晶体
GB/T1553-2023
硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法
检测项目：体内少数载流子寿命
检测对象：硅晶体
GB/T24581-2022
低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试方法
检测项目：硼、镓、铝、磷、砷、锑
检测对象：硅晶体